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-- 作者:陕西水泵厂 -- 发布时间:2010/11/22 9:00:08 -- 真空阀门的抽气系统的操作 不用高真空阀门的抽气系统的操作要比有阀门的抽气系统简便得多。操作时,先打开冷却水和前级管道阀,并同时启动机械泵和涡轮分子泵。如粗抽泵选择得当使真空室的粗抽时间等于加速时间,那么真空系统就能在没有泵油蒸气返流的情况下把真空室抽到其本底压力。 无阀门系统在放气和停机时,首先关闭前级管道阀,等泵转速下降到最大转速的50%时再在泵的上方充入干燥气体。当系统充到大气压时应关闭放气阀门, GM计量泵否则会造成真空室过压。然后按上述介绍的方法关掉机械泵并停掉冷却水。没有单设粗抽管路的涡轮分子泵系统的操作:先打开分子泵冷却系统和前级管路阀,并同时启动前级(粗抽)机械泵和涡轮分子泵。如果粗抽泵(前级泵)选择得当,使真空室的粗抽时间等于分子泵的加速(启动)时间,则真空系统就能在没有泵油蒸汽返流的情况下把真空室抽到其本底压力。 该系统在停机前,要先关闭前级管路阀,然后切断分子泵电源和关闭冷却水。等分子泵转速下降到额定工作转速的一半时,再在泵的入口处充入干燥气体,当系统充到大气压力后,应关闭放气阀门。根据需要在前级阀关闭后的任何时候停掉前级泵系统。 系统停机时,先关闭高真空阀,如果有液氮冷阱的话,还要将冷阱加热。在冷阱达到平衡温度后,关掉前级管道阀,再切断涡轮分子泵电动机的电源使分子泵的转子减速。一般来说,到泵转子完全停止需要十分钟或更长的时间。在分子泵转子减速期间,来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的润滑油蒸气会迅速地向泵的进气口上方区域扩散。为了防止机械泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流,在切断涡轮分子泵电动机的电源后,要用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气。例如,应该在泵转子速度下降到最大转速的50%左右时,在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连续充入氩气或氮气,直到泵内压力达到大气压。 GB-1200通过从阀门3(见图1)充入气体就可适当地完成这一操作。当涡轮分子泵以额定速度运转时,不应经常充入压力为大气压的气流。这样做对轴的寿命是不利的。当前级管道阀关闭后,即可关掉机械泵系统,并用放气阀对机械泵内进行放气。停机后应立即关掉冷却水以防止内部冷凝。在正常工作时,可把水温调节到略高于露点来消除泵体外部可能形成的冷凝物。启动系统要先接通冷却水流,打开前级管道阀门,再同时启动机械泵和涡轮分子泵。在泵加速到额定转速(一般为5到10min)后,就可加注液氮冷阱。此后就可按上节所介绍的步骤对真空室进行抽气。 来自:水网中国 www.watering.cn |